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日本小坂KOSAKA微細形狀測定機ET200A
點擊次數:3024 更新時間:2019-11-11

日本小坂KOSAKA 臺階儀 | 微細形狀測定機ET200A產品詳細信息

日本小坂KOSAKA 臺階儀 | 微細形狀測定機ET200A概述

ET200A基于Windows 操作系統為多種不同表面提供全面的形貌分析,包括半 導體硅片、太陽能硅片、薄膜磁頭及磁盤、MEMS、光電子、精加工表面、生物醫學器件、 薄膜/化學涂層、平板顯示、觸摸屏等。使用金剛石(鉆石)探針接觸測量的方式來實現高 精度表面形貌分析應用。ET200A 能可靠地測量出表面臺階形貌、粗糙度、波紋度、磨 損度、薄膜應力等多種表面形貌技術參數。 ET200A 配備了各種型號探針,提供了通過過程控制接觸力和垂直范圍的探頭,彩色CCD 原位采集設計,可直接觀察到探針工作時的狀態,更方便準確的定位測試區域。

日本小坂KOSAKA 臺階儀 | 微細形狀測定機ET200A特點

★ ET200A臺階儀適用于二次元表面納米等級段差臺階測定、粗糙度測定。
★ ET200A臺階儀擁有高精度.高分解能,搭配一體花崗巖結構,安定的測量過程及微小的測定力可對應軟質樣品表面。
★ 該型號臺階儀采用直動式檢出器,重現性高。

日本小坂KOSAKA 臺階儀 | 微細形狀測定機ET200A產品參數

大試片尺寸Φ200mm×高度50mm
重現性1σ ≤ 1nm
測定范圍Z:600um X:100mm
分解能Z:0.1nm X:0.1um
測定力10UN~500UN (1mg-50mg)
載物臺Φ160mm, 手動360度旋轉
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